用于多晶硅電池生產(chǎn)線中的濕制程刻蝕和擴散后清洗工序
優(yōu)點：
1 先進的鏈式結構，確保精確刻蝕量
2 新型傳動系統(tǒng)嚴格保證可靠性，碎片率低
3 廢液廢氣排放系統(tǒng)穩(wěn)定安全
4 省藥節(jié)水，利用率高
5 完善的過程控制系統(tǒng)，信息采集準確，自動調(diào)溫，自動補藥
6 友好的視窗操控界面，及其他人性化細節(jié)
7 可擴展自動上下料臺，濃度監(jiān)控等模塊
技術參數(shù)
功能 去PSG與刻蝕 　
產(chǎn)品 多晶硅片/單晶硅片 156*156*0.2 mm
125*125*0.2 mm
產(chǎn)能 傳輸軌道 5
125mm*125mm 3600 pcs/hour
156mm*156mm 3000 pcs/hour
碎片率 <0.3%
工作方向 L-R 或 R-L (依客戶要求)
工作速度 可調(diào)范圍 1.0-2.0m/min
操作速度 1.8m/min
操作高度  930mm±30mm
設備構成 槽體材質(zhì) PVDF,Nature PP
主傳動材質(zhì) Ti,SUS316
滾輪材質(zhì) PVDF,Nature PP
滾輪軸距 50mm
工程條件 供電 30kw,380V,3 相 5 線,50Hz 
供水 2.5±0.5kfg/cm2
CDA/N2 6±0.5kfg/cm2
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